目前各种的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油的耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已经被无油清洁的真空系统所代替。

　　国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵。螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点占据市场，但其制造技术大部分为国外掌握，我国尚处于起步阶段，市场对于干式泵有迫切的需求。

　　干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备。日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。

　　螺杆真空泵结构主要由螺杆转子、壳体、冷却循环和密封材料构成。传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子的旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑。轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似。一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用连轴器与转子连接，极少数用皮带或者链传动。等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高（110度左右），如果冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽泣效果，所以冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是最常见的方法。在机壳本体，轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。莱宝公司在转子内部通水冷却，增加转子寿命，并达到很好的冷却效果。但是该种结构设计（两段式），需要一定的技术及加工水平支撑。用水冷有时不能达到冷却效果，因而通常在靠近排气端转子附近通冷却气体（多为氮气）。现在国外的主流螺杆真空泵都采用这种方法。这种方法有几个好处：第一，能冷却转子的机壳，降低排气温度；第二，当气体内含有颗粒物时，能防止颗粒物沉积或者发生化学反应引起爆炸。

　　（1）塔海尔公司的KDP、SDV系列螺杆真空泵。塔海尔公司收购了凯尼真空公司。凯尼是美国历史上最悠久的从事真空获得设备的专业制造公司，在螺杆真空泵制造方面也是处于世界领先地位。KDP系列为等螺距转子的真空泵，SDV为变螺距螺杆泵，二者均为水冷系统，风冷系统可选择。SDV是在KDP基础上进行的改进，变螺距螺杆泵能实现气体内部压缩，使排气温度降低，同比等螺距节能30%。在转子上采用NiFlon涂层，即第一层为Ni，第二层为PFA。即使PFA磨损了，Ni层也能实现防腐蚀，同时采用Kalrez全氟化橡胶密封圈。SDV系列是凯尼公司主推的螺杆线年底正式推出的SREWTINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用（非半导体应用）设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题。如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，因此螺杆寿命延长。

　　（3）德国普旭公司的COBRAN系列螺杆泵，是制造工艺最理想的真空泵，特别适用于化工和制药行业的各工艺流程。普旭是世界上最大的真空泵、鼓风机和压缩机的供应商之一，真空泵的质量较高，相比其他厂家，在欧洲市场占有率极高，价格偏贵。

　　（4）德国里奇乐的VSA/VSB系列。VSA为等螺距转子，市场评价较好，性能稳定。VSB系列事变螺距转子设计（非线型齿形设计），同其他几家一样，通过内压缩来改变泵的功耗和排气温度，不用两级压缩中间冷却，单级即可实现很高的真空度。在密封件上作了改进，静态密封元件优选PTFE或者添加有PTFE的密封件，动态密封元件在真空泵吸入侧用双密封唇，真空泵排气侧用简单的带有防止气体外溢的密封圈，以防固体物质进入泵内。

　　（5）日本的几个生产商。日本是应用螺杆真空泵非常多的国家，半导体和LCD行业应用广泛，大晃株式会社的吉村将士等很早就在单头等螺杆转子方面申请了专利，在转子上作了深入的研究。日立公司早期也作过螺杆泵方面的研究。

　　干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术，降低排气口的温度，增大转子面积利用率等问题仍然很棘手，当抽取一些活泼气体时，由于排气温度高，安全性也是需要设计中考虑的，用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研究方向，但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩机在行业内的统治地位一样。

　　图表5：2021-2023年全国钢材表观消费量及增长情况（单位：亿吨，%）

　　图表14：2021-2023年中国精铜表观消费量及增长情况（单位：万吨，%）

　　图表16：2021-2023年中国轴承制造行业经营效益分析（单位：家，万元，%）

　　图表19：2021-2023年中国紧固件行业经营效益分析（单位：家，万元）

　　图表20：2021-2023年中国紧固件行业进出口状况表（单位：万美元，%）

　　图表23：2021-2023年中国密封件行业经营效益分析（单位：家，万元）

　　图表25：2021-2023年中国电机制造行业经营效益分析（单位：家，万元）

　　图表35：2021-2023年前2季度国内生产总值及其增长情况（单位：亿元，%）

　　图表37：2021-2023年中国农村居民人均纯收入及增长趋势图（单位：元，%）

　　图表38：2021-2023年中国城镇居民人均可支配收入及增长趋势图（单位：元，%）

　　图表39：2021-2023年中国城镇固定资产投资总额和制造业投资情况（单位：%）

　　图表40：2021-2023年中国社会消费品零售总额及其增长速度（单位：亿元，%）

　　图表42：2021-2023年泵及真空设备制造行业工业总产值与国内GDP增长变化情况（单位：%）

　　图表43：2023年中国泵及真空设备制造行业企业数量、销售收入区域分布（单位：%）

　　图表44：2021-2023年中国泵及真空设备制造行业专利申请情况（单位：件）

　　图表50：2021-2023年泵及真空设备制造行业经营效益分析（单位：家，人，万元，%）

　　图表51：2021-2023年泵及真空设备制造行业盈利能力分析（单位：%）

　　图表52：2021-2023年泵及真空设备制造行业运营能力分析（单位：次）

　　图表53：2021-2023年泵及真空设备制造行业偿债能力分析（单位：%，倍）

　　图表54：2021-2023年泵及真空设备制造行业发展能力分析（单位：%）

　　图表55：2021-2023年全国泵及真空设备制造行业工业总产值及增长率走势（单位：亿元，%）

　　图表56：2021-2023年全国泵及真空设备制造业行业产成品及增长率走势图（单位：亿元，%）

　　图表57：2021-2023年泵及真空设备制造业工业总产值居前的10个地区分析（单位：万元，%）

　　图表58：2023年泵及真空设备制造业工业总产值居前的10个地区比重图（单位：%）

　　图表59：2021-2023年产成品排名靠前的10个地区分析（单位：万元，%）

　　图表61：2021-2023年泵及真空设备制造行业销售产值及增长率变化情况（单位：亿元，%）

　　图表62：2021-2023年泵及真空设备制造行业销售收入及增长率变化趋势图（单位：亿元，%）

　　图表63：2021-2023年销售产值居前的10个地区分析（单位：万元，%）

　　图表65：2021-2023年销售收入排名靠前的10个地区分析（单位：万元，%）

　　图表67：2021-2023年全国泵及真空设备制造行业产销率变化趋势图（单位：%）

　　图表68：2021-2023年泵及真空设备制造行业进出口情况（单位：万美元，%）

　　图表69：2021-2023年泵及真空设备制造行业进出口总额及其增长情况（单位：亿美元，%）

　　图表70：2021-2023年泵及真空设备制造行业出口总额及其增长情况（单位：亿美元，%）

　　图表71：2021-2023年中国泵及真空设备制造行业主要出口产品出口情况（单位：吨，万台，万美元）

　　图表73：2023年1-8月中国泵及真空设备制造行业主要出口产品出口情况（单位：吨，万台，万美元）

　　图表74：2023年1-8月中国泵及真空设备制造行业出口产品结构（单位：%）

　　图表75：2021-2023年中国泵及真空设备制造行业进口额及其增长情况（单位：亿美元，%）

　　图表76：2021-2023年中国泵及真空设备制造行业主要进口产品进口情况（单位：吨，万台，万美元）

　　图表78：2023年1-8月中国泵及真空设备制造行业主要进口产品进口情况（单位：吨，万台，万美元）

　　图表79：2023年1-8月中国泵及真空设备制造行业进口产品结构（单位：%）

　　图表82：2021-2023年主要离心泵产品进口情况（单位：万台，万美元）

　　图表88：2021-2023年主要离心泵产品出口情况（单位：万台，万美元）

　　图表91：2021-2023年主要齿轮泵产品进出口情况（单位：万美元，%）

　　图表94：2021-2023年回转式螺杆泵进出口情况（单位：万美元，%）

　　图表96：2021-2023年主要往复泵产品进出口情况（单位：万美元，%）

　　图表102：2021-2023年美国ITT工业公司营业收入情况（单位：百万美元）

　　图表105：2021-2023年前2季度美国福斯公司营业收入及增长情况（单位：百万美元，%）

　　图表106：2021-2023年前2季度美国福斯公司经营效益及增长情况（单位：百万美元，%）

　　图表110：2021-2023年8月德国KSB公司营业收入及其增长情况（单位：百万欧元，%）

　　图表111：2021-2023年8月德国KSB公司主要经营效益情况（单位：百万欧元，%）

　　图表113：2022财年日本荏原（EBARA）公司泵产品应用分布（单位：%）

　　图表114：2021-2023财年日本荏原（EBARA）公司营业收入情况（单位：百万日元）

　　图表115：2021-2023财年日本荏原（EBARA）公司经营利润情况（单位：百万日元，%）

　　图表117：2021-2023年德国威乐（WILO）公司营业收入情况（单位：亿欧元）

　　图表118：2023年德国威乐（WILO）公司营业收入地区分布（单位：%）

　　图表119：2021-2023财年日本日机装公司营业收入及增长情况（单位：百万日元，%）

　　常见问题：有介质真空泵，工作中被抽物料与介质混合，真空度低，且物料再回收和污水处理费用高，易污染环境。

　　干式螺杆泵：无介质真空泵，清洁真空且真空度高，可结合罗茨机组，获得更高线%回收无污染，不用做污水处理，环境评比过关，在医药中间体生产使用效果更佳。

　　常见问题：有介质真空泵，工作中易产生返流，工作中抽出的可凝性气体液化后造成真空度降低。需定期更换真空油，维护保养费用高。

　　干式螺杆泵：无介质真空泵，清洁真空，无返流，工作中排液可集中回收及集中处理可保持恒定真空压强，且免维护费用。

　　常见问题：无介质真空泵，结构属于气缸和活塞的相对滑动形成真空环境，在化工行业遇有结晶介质时，易对活塞或气缸造成损毁，造成生产停滞。同时被抽气体含有大量液体时不适用。

　　干式螺杆泵：无介质真空泵，无摩擦结构和变容压缩式做功工作原理，在化工、电子行业遇有结晶介质时，可顺利抽除，不会对泵体造成损坏。

　　常见问题：能耗大、真空度低，污水处理费用高，易对环境造成很大污染。蒸汽耗量大（运行费用高），必须安装在11米高度以上，检修不便。

　　干泵：节能、环保，物料回收后可再利用，不会对环境造成污染。同时没有安装高度限制。

　　常见问题：无介质真空泵，适用于清洁真空。但工作环境中的可凝性气体产生的液体每日不可超过25克。有粉尘的工作环境易造成涡轮的损耗。

　　干式螺杆泵：无介质真空泵，适用于清洁真空。工作环境中的可凝性气体产生的液体，能在泵的工作过程中排出，无维护费用。

　　，更是成为企业用户所熟悉的一种泵类产品，可以有不错的真空性能，当然这样的真空泵，也同样在应用方面具备一定的优势，因此是成为企业所熟悉的一大产品。

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　　，则是可以在这一点做的很不错，尤其是与市面上的真空泵相比较而言，不仅仅是在噪音上比较低，而且还能进行能量回收，可以避免热气对整个空调系统的影响，所以说更加的节能环保，可以为人们提供一个更加健康的环境。

　　在对真空泵使用时，很多企业总是会担心其中的安装问题。其实进口螺杆真空泵的占地面积比较小，所以完全不需要担心空间的问题，另外因为所需要的部件都全部安装在一个外罩中，所以说安装方面也十分的方便快捷，可以在短时间内完成安装使用。

　　如果一款装置本身不够耐用的话，则是很容易影响企业的使用成本，甚至还会增加相应的成本。因为进口螺杆真空泵，采用了经过特殊设计的油气分离器，所以说能让润滑油在压力比较小的情况，可以完全实现了与气体分离的一种高效循环，这样就可以确保能耗的降低，也可以保证了油气分离器的使用寿命，因此会更加的耐用。

　　了解的话，就会发现这样的真空泵在本身还是有一定优势的，正是因为如此，所以才会在各个行业中得到应用，成为了现在企业用户了解和熟悉的产品。

　　图表13：2018-2023年中国城镇固定资产投资总额和制造业投资情况（单位：万亿元）

　　图表14：2018-2023年中国社会消费品零售总额及其增长速度（单位：亿元，%）

　　图表17：2023年中国泵及真空设备制造行业企业数量、销售收入区域分布（单位：%）

　　图表18：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业专利申请情况（单位：件）

　　图表24：2018-2023年泵及真空设备制造行业经营效益分析（单位：家，人，万元，%）

　　图表25：2018-2023年泵及真空设备制造行业盈利能力分析（单位：%）

　　图表26：2018-2023年泵及真空设备制造行业运营能力分析（单位：次）

　　图表27：2018-2023年泵及真空设备制造行业偿债能力分析（单位：%，倍）

　　图表28：2018-2023年泵及真空设备制造行业发展能力分析（单位：%）

　　图表29：2018-2023年全国泵及真空设备制造行业工业总产值及增长率走势（单位：亿元，%）

　　图表30：2018-2023年全国泵及真空设备制造业行业产成品及增长率走势图（单位：亿元，%）

　　图表31：2018-2023年泵及真空设备制造行业销售产值及增长率变化情况（单位：亿元，%）

　　图表32：2018-2023年泵及真空设备制造行业销售收入及增长率变化趋势图（单位：亿元，%）

　　图表33：2018-2023年全国泵及真空设备制造行业产销率变化趋势图（单位：%）

　　图表34：2018-2023年泵及真空设备制造行业进出口情况（单位：万美元，%）

　　图表35：2018-2023年泵及真空设备制造行业进出口总额及其增长情况（单位：亿美元，%）

　　图表36：2018-2023年泵及真空设备制造行业出口总额及其增长情况（单位：亿美元，%）

　　图表37：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业主要出口产品出口情况（单位：吨，万台，万美元）

　　图表39：2023年中国泵及真空设备制造行业主要出口产品出口情况（单位：吨，万台，万美元）

　　图表41：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业进口额及其增长情况（单位：亿美元，%）

　　图表42：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业主要进口产品进口情况（单位：吨，万台，万美元）

　　图表44：2023年中国泵及真空设备制造行业主要进口产品进口情况（单位：吨，万台，万美元）

　　图表48：2018-2023年主要离心泵产品进口情况（单位：万台，万美元）

　　图表54：2018-2023年主要离心泵产品出口情况（单位：万台，万美元）

　　图表57：2018-2023年主要齿轮泵产品进出口情况（单位：万美元，%）

　　图表60：2018-2023年回转式螺杆泵进出口情况（单位：万美元，%）

　　图表62：2018-2023年主要往复泵产品进出口情况（单位：万美元，%）

　　图表68：2018-2023年美国ITT工业公司营业收入情况（单位：百万美元）

　　图表71：2018-2023年美国福斯公司营业收入及增长情况（单位：百万美元，%）

　　图表72：2018-2023年美国福斯公司经营效益及增长情况（单位：百万美元）

　　图表74：2018-2023年格兰富公司营业收入情况（单位：百万麦克朗）

　　图表76：2018-2023年德国KSB公司营业收入及其增长情况（单位：百万欧元，%）

　　图表77：2018-2023年德国KSB公司主要经营效益情况（单位：百万欧元）

　　图表79：2017财年日本荏原（EBARA）公司泵产品应用分布（单位：%）

　　图表80：2018-2023年财年日本荏原（EBARA）公司营业收入情况（单位：百万日元）

　　图表81：2018-2023年财年日本荏原（EBARA）公司经营利润情况（单位：百万日元，%）

　　图表88：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业区域市场情况（单位：家，万元）

　　图表89：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业各区域企业数量情况（单位：%）

　　图表90：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业各区域销售收入情况（单位：%）

　　图表91：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业各区域资产总计情况（单位：%）

　　图表92：2023年中国泵及真空设备制造行业前二十地区销售收入排名情况（单位：万元）

　　图表93：2023年中国泵及真空设备制造行业销售收入按省份累计百分比（单位：%）

　　图表94：2018-2023年中国泵及真空设备制造行业销售收入靠前的五地区占比情况（单位：%）

　　图表95：2018-2023年浙江省离心泵制造行业地位变化情况（单位：%）

　　图表96：2018-2023年浙江省泵及真空设备制造行业产销规模（单位：万元，%）

　　图表97：2018-2023年浙江省泵及真空设备制造行业产销规模变化趋势图（单位：亿元，%）

　　图表98：2018-2023年浙江省泵及真空设备制造行业资产负债规模（单位：万元，%）

　　图表99：2018-2023年浙江省泵及真空设备制造行业资产负债率变化情况（单位：%）

　　图表100：2018-2023年浙江省泵及真空设备制造行业经营效益规模（单位：万元，%）

　　图表101：2018-2023年浙江省泵及真空设备制造行业销售利润率变化情况（单位：%）

　　图表102：2018-2023年浙江省泵及真空设备制造行业企业数量（单位：家）

　　图表103：2023年浙江省泵及真空设备制造行业主要企业情况（单位：万元）

　　图表104：2018-2023年辽宁省离心泵制造行业地位变化情况（单位：%）

　　图表105：2018-2023年辽宁省泵及真空设备制造行业产销规模（单位：万元，%）

　　图表106：2018-2023年辽宁省泵及真空设备制造行业产销规模变化趋势图（单位：亿元，%）

　　图表107：2018-2023年辽宁省泵及真空设备制造行业资产负债规模（单位：万元，%）

　　图表108：2018-2023年辽宁省泵及真空设备制造行业资产负债率变化情况（单位：%）

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　　图表109：2018-2023年辽宁省泵及真空设备制造行业经营效益规模（单位：万元，%）

　　图表110：2018-2023年辽宁省泵及真空设备制造行业销售利润率变化情况（单位：%）

　　图表111：2018-2023年辽宁省泵及真空设备制造行业企业数量（单位：家）

　　图表112：2023年辽宁省泵及真空设备制造行业企业集中度（单位：万元，%）

　　图表113：2018-2023年江苏省离心泵制造行业地位变化情况（单位：%）

　　图表114：2018-2023年江苏省泵及真空设备制造行业产销规模（单位：万元，%）

　　图表115：2018-2023年江苏省泵及真空设备制造行业产销规模变化趋势图（单位：亿元，%）

　　图表116：2018-2023年江苏省泵及真空设备制造行业资产负债规模（单位：万元，%）

　　图表117：2018-2023年江苏省泵及真空设备制造行业资产负债率变化情况（单位：%）

　　图表118：2018-2023年江苏省泵及真空设备制造行业经营效益规模（单位：万元，%）

　　图表119：2018-2023年江苏省泵及真空设备制造行业销售利润率变化情况（单位：%）

　　图表120：2018-2023年江苏省泵及真空设备制造行业企业数量（单位：家）