深圳市托理拆利机电设备有限公司提供真空领域技术及产品服务的高新技术企业，拥有合工大真空系专业背景组成的技术团队，具备国际化视野和多年真空应用实战经验，在真空泵选型及真空系统设计方面有丰富的积累与创新。TORRY专注于真空检漏、真空系统领域的技术型专业供应商，是Edwards爱德华真空泵授权代理商，为科研真空设备、科学仪器真空设备、实验室高真空设备、半导体真空设备、光伏真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。

　　iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards是紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于水处理和其他清洁工作应用。它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。 iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。其低振动和低噪音级别的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。通过环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低操作成本并帮助保护环境！

　　Edwards iXL120 是紧凑型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水处理和其他清洁工作应用。 它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。

　　Edwards iXL120 是可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。 其低振动和低噪音级别的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。 通过环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低操作成本并帮助保护环境！

　　iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 涉及的排气要求。

　　这些性能的 泵旨在大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须维护。

　　iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而且助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。

　　iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。

　　IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。

　　IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。

　　适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。

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