(19)国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(45)授权公告日(21)申请号3.9(22)申请日2020.03.30(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113574277(43)申请公布日2021.10.29(30)优先权数据FR.04.05FR(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.09.16(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2020/0589682020.03.30(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/201218FR2020.10.08(73)专利权人普发真空公司地址法国安纳西(72)发明人Y格勒尼耶(74)专利代理机构北京市中咨律师事务所11247专利代理师(51)Int.Cl.F04C18/12(2006.01)F04C18/18(2006.01)F04C18/344(2006.01)F04C23/00(2006.01)F04C25/02(2006.01)F04C28/26(2006.01)(56)对比文件FR2883934A1,2006.10.06US4770609A,1988.09.13US2010158728A1,2010.06.24US2011223581A1,2011.09.15US2013294957A1,2013.11.07审查员(54)发明名称干式线)摘要本发明涉及一种干式线)，它包括：‑辅助定子(13)，其至少被一个轴(4)穿过；‑入口通道(14)，其设置有可控入口阀(15)，并且将辅助定子(13)的入口(17)连接到与线)支承的至少一个辅助转子(16)，所述辅助转子(16)构造成使得它在辅助定子(13)中的旋转导致气体在辅助定子(13)的入口(17)和出口(18)之间被泵送，以在命令可控入口阀(15)打开时降低泵送级(3f)中的压力。本发明还涉及一种包括与线.干式线)，包括：‑至少一个泵送级(3a、3b、3c、3d、3e、3f)，‑两个旋转轴(4)，它们分别承载至少一个在所述至少一个泵送级(3a、3b、3c、3d、3e、3f)中延伸的转子(5)，这些转子(5)构造成沿相反方向以同步方式转动，以驱动将在所述线)之间被泵送的气体，其特征在于，所述线)还包括：‑辅助定子(13；22；24)，其至少被这些轴(4)之一穿过，‑入口通道(14)，其设置有可控入口阀(15)，并且将所述辅助定子(13；22；24)的入口(17)连接到与所述线)承载的至少一个辅助转子(16；23)，所述辅助转子(16；23)构造成使得它在所述辅助定子(13；22；24)中的旋转驱动将在所述辅助定子(13；22；24)的入口(17)和出口(18)之间被泵送的气体，以在命令所述可控入口阀(15)打开时降低所述泵送级(3f)中的压力，当命令所述可控入口阀(15)关闭时，所述至少一个辅助转子(16；23)和所述辅助定子(13；22；24)与和出口(8)连通的所述泵送级(3f)流体隔离。2.根据权利要求1所述的线)，其特征在于，所述辅助定子(13)被两个轴(4)穿过，所述线)，这两个辅助转子布置在所述辅助定子(13)中并且由相应的轴(4)承载，这些辅助转子(16)构造成沿着相反的方向以同步方式转动。3.根据权利要求2所述的线)，其特征在于，所述辅助转子(16)是罗茨式的。4.根据权利要求1所述的线)，其特征在于，所述辅助定子(22)形成在所述线)中，所述线)包括由所述线)构成的两个辅助转子，所述同步齿轮装置(6)与所述辅助定子(22)一起构成齿轮泵，所述同步齿轮装置(6)还构造成使所述轴(4)的旋转同步。5.根据权利要求1所述的线)，其特征在于，所述辅助转子(23)是旋转叶片泵转子，其与所述辅助定子(24)一起构成旋转叶片泵，所述旋转叶片泵被容纳在所述线.根据前述权利要求中任一项所述的线)，其特征在于，所述辅助定子(13；22；24)的出口(18)通过设置有可控出口阀(21)的辅助出口通道(20)与所述线.根据前述权利要求中任一项所述的线)，其特征在于，它是构造成在大气压下排出气体的粗线.根据前述权利要求中任一项所述的线)，其特征在于，它包括控制单元(19)，该控制单元构造成根据所述线)消耗的功率和/或所述线)的入口压力的测量值来控制所述可控入口阀(15)打开。9.根据前述权利要求中任一项所述的线)，其特征在于，所述转子(5)是罗茨式10.泵送设备(100)，其包括进样室(101)，其特征在于，其包括根据前述权利要求中任一项所述的干式线)，所述干式真空泵连接到所述进样室(101)，以交替地降低和升高所述进样室(101)中的压力。11.根据前一权利要求所述的泵送设备(100)，其特征在于，所述进样室(101)包括所述可控入口阀(15)的控制装置(102)，以在所述进样室(101)处于空闲期时命令所述可控入口CN113574277CN113574277干式真空泵和泵送设备技术领域[0001]本发明涉及一种诸如粗真空泵的干式真空泵，例如罗茨式泵、爪型泵或螺旋泵。本发明还涉及一种包括与真空泵相连的进样室(预抽真空室，真空锁，loadlock)的泵送设备。背景技术[0002]将气体压缩所需的电能是真空泵能耗的重要参数之一。在罗茨式或爪型多级粗真空泵的情况下，这种压缩功率主要用于最后两个压缩级。[0003]进样室泵送应用特别具有较高的能耗。进样室用于在将基材卸载到维持在低压下的处理室中之前降低基材周围的压力，以防止处理室中存在任何杂质。因此，每次装载基材都需要交替地降低然后升高进样室封壳中的压力。在每次降低压力之后，进样室中的压力保持较低，直到将基材转移到处理室中。这些低压下的空闲期可能较长，并且在能量方面是昂贵的。[0004]一种已三亿体育 三亿体育下载 app知的降低电能消耗的解决方案包括例如在进样室的这些空闲期期间，借助于外部泵送设备降低最后的压缩级的压力。[0005]这种外部泵送设备例如是喷射泵、隔膜泵三亿体育 三亿体育下载 app或旋转叶片泵。[0006]这样做的一个缺点是必须使用两个不同的泵送设备，这会导致泵送系统庞大，其使用复杂、成本高或消耗电能或气体。发明内容[0007]本发明的一个目的是提出一种能至少部分地解决现有技术的缺点之一的干式线]为此，本发明在于一种干式线] ‑至少一个泵送级， [0010] ‑两个旋转轴，这两个旋转轴分别承载在所述至少一个泵送级中延伸的至少一个 转子，这些转子构造成沿相反方向以同步方式转动，以便在真空泵的入口和出口之间驱动 待泵送的气体，其特征在于，该线] ‑辅助定子，至少一个轴穿过该辅助定子， [0012] ‑入口通道(吸入通道)，该入口通道设置有可控入口阀，并且将辅助定子的入口连 接到与真空泵的出口连通的泵送级，和 [0013] ‑由所述轴承载的至少一个辅助转子，所述辅助转子构造成使得它在辅助定子中 的旋转在辅助定子的入口和出口之间驱动待泵送的气体，以在命令可控入口阀打开时降低 所述泵送级中的压力，当命令可控入口阀关闭时，所述至少一个辅助转子和所述辅助定子 与和出口连通的所述泵送级在流体上隔离。 [0014] 因此，驱动真空泵转子的轴的旋转也用于驱动至少一个辅助转子旋转，从而在命 令可控入口阀打开时降低真空泵的出口泵送级中的压力。由此可以减少真空泵的电力消 耗，而无需真空泵外部的泵送设备。当命令可控入口阀关闭时，辅助转子在辅助定子中自 CN113574277 转，而不妨碍真空泵的运行。因此，辅助泵送级被旁路(绕开)，而不再参与泵送气体。[0015] 命令可控入口阀打开还能在精确的时刻和选定的持续时间内降低出口泵送级中 的压力。因此，使用可控入口阀实现了很大的动作灵活性。 [0016] 因此，该真空泵紧凑、安装简单并且控制简单。 [0017] 该真空泵例如是构造成在大气压下排出气体的粗真空泵。转子例如是罗茨式或爪 [0018]辅助定子的出口可以通过适配有可控出口阀的辅助出口通道与真空泵的出口连 通。当不使用至少一个辅助转子降低出口级中的压力时，可以通过可控出口阀使所述辅助 转子保持在真空下。所述至少一个辅助转子在没有新气体进入的情况下自转，消耗很少或 不消耗能量，并且不干扰真空泵的所述至少一个泵送级中的泵送。 [0019] 该真空泵可以包括控制单元，该控制单元构造成根据真空泵所消耗的功率和/或 真空泵的入口压力的测量值来命令可控入口阀和/或可控出口阀打开。 [0020] 根据另一示例，连接到真空泵的封壳例如进样室包括用于可控入口阀和/或可控 出口阀的控制装置。这意味着例如在进样室处于空闲期(等待阶段)时、例如在空闲期开始 和结束的预定持续时间内，命令可控入口阀和/或可控出口阀打开。例如，当功率已经下降 到功率阈值以下时，也可以命令可控阀关闭。 [0021] 根据第一实施例，辅助定子被所述两个轴穿过，所述真空泵包括两个辅助转子，这 两个辅助转子布置在辅助定子中并且由相应的轴支承，这些辅助转子构造成沿相反的方向 以同步方式转动。辅助转子例如是罗茨式、螺杆型或爪型。在该实施例中，辅助定子类似于 [0022]根据第二实施例，辅助定子形成在真空泵的油壳中，所述真空泵包括由真空泵的 同步齿轮装置的相应齿轮构成的两个辅助转子，所述同步齿轮装置与所述辅助定子一起构 成齿轮泵。所述同步齿轮装置还构造成使这些轴的旋转同步。在该实施例中，当需要降低出 口级中的压力时，已经用于使轴同步的同步齿轮装置用作附加的泵送设备。 [0023] 根据第三实施例，辅助转子是旋转叶片泵转子，其与辅助定子一起构成旋转叶片 泵，该旋转叶片泵被容纳在真空泵的油壳的腔室中。在该实施例中，具有集成式旋转叶片泵 的真空泵能以非常好的压缩比降低出口级中的压力。 [0024] 本发明还在于一种包括进样室的泵送设备，其特征在于，它包括如上所述的干式 真空泵，该干式真空泵连接到该进样室，以便交替地降低和升高所述进样室中的压力。 附图说明 [0025] 当阅读对本发明的一个说明性但非限制性示例的描述和附图时，其他优点和特征 将变得显而易见，在附图中： [0026] 图1表示泵送设备的示意图。 [0027] 图2表示根据第一实施例的图1中的设备的干式粗线表示根据第二实施例的干式粗线中的真空泵在油壳的水平处的示意性剖视图A‑A。 [0030] 图5表示根据第三实施例的干式粗线中的真空泵在油壳的水平处的截面A‑A的示意图。 CN113574277 具体实施方式[0032] 以下实施例是示例。尽管描述涉及一个或多个实施例，但这并不一定意味着每个 参考都涉及相同的实施例，或者该特征仅适用于一个实施例。不同实施例的单一特征也可 以组合或互换，以提供其他实施例。 [0033] 粗真空泵被定义为容积式真空泵，它借助于两个转子在大气压力下吸入、转移并 排出待泵送气体。 [0034] 图1示出了泵送设备100，其包括进样室101和干式线连接到