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建霖家居申请一种用于真空镀膜的靶材座组件及真空镀膜设备专利能有效保证在尺寸存在偏差时进行补偿三亿体育

发布日期:2024-08-16 15:53浏览次数:898

  金融界 2024 年 8 月 14 日消息,天眼查知识产权信息显示,厦门建霖健康家居股份有限公司申请一项名为“一种用于真空镀膜的靶材座组件及真空镀膜设备“,公开号 CN4.4,申请日期为 2024 年 4 月。

  专利摘要显示,本发明提供了一种用于真空镀膜的靶材座组件及真空镀膜设备,所述靶材座组件在靶座上设置有上绝缘套和下绝缘套,所述上绝缘套和所述下绝缘套上设置有第一台阶和第二台阶,所述第二台阶比所述第一台阶长,且所述上绝缘套的上端面高于所述靶座的上端面;其在所述靶材与所述所述靶座固定连接压紧置于碳膜时,在所述靶材压力作用下所述第二台阶能发生弹性变形,以使所述上绝缘套的上端面始终与所述靶材的下端面紧密贴合;如此能有效保证在尺寸存在偏差时进行补偿,以避免绝缘套把靶材顶死导致碳膜松动的情况,以及避免绝缘套和靶材之间三亿体育 全站 三亿体育app存在间隙,造成短路的现象三亿体育 全站 三亿体育app;同时既能保证了绝缘套的通用性,也延长了其使用周期。

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