东方晶源微（北京）取得真空馈入调节装置及半导体检测设备专利实现角度补偿三亿体育

发布日期：2024-08-24 00:16浏览次数：763

　　金融界 2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知识产权信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司取得一项名为“真空馈入调节装置及半导体检测设备“，授权公告号 CN221573857U，申请日期为 2023 年 12 月。

　　专利摘要显示，本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种真空馈入调节装置及半导体检测设备。该真空馈入调节装置包括固定安装座、线性运动模组及偏摆调节机构；线性运动模组枢转连接于固定安装座，线性运动模组用于驱动馈入部件沿第一方向运动；偏摆调节机构设置于固定安装座且用于驱动线性运动模组带动馈入部件一起相对固定安装座摆动。偏摆调节机构能够提供转动自由度，并驱动线性运动模块相对固定安装座转动，进而带动馈入部件相对固定安装座摆动，从而实现角度补偿。

　　三亿体育全站三亿体育app

上一篇：三亿体育年产能超万台中科仪（南通）半导体设备有限责任公司加快干式真空泵国产化替代

下一篇：汇成真空：鸿准精密模具（昆山）有限公司是公司客户主要采购真空镀膜设备及相关配件三亿体育