(1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。

　　(2)、真空应用设备：在真空环境下(低于一个大气压的气体状态)，应用的各种设备

　　A、真空镀膜机：蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。

　　D、其它真空设备：冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。

　　(4)、真空检漏仪一检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。

　　(5)、真空阀门一在真空系统中，用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、电磁阀、电磁带放气阀、隔膜阀和调节阀等。

　　1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若是工艺过程不支持，应选择无振动的泵或者采取防振动的一系列措施。

　　2、了解被抽气体成分，气体中有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵的时候需要知道气体成分，针对被抽气体时需要选择相应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒以及腐蚀性的气体，需要考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备。

　　3、真空泵在其工作压强下，可以排走真空设备工艺过程中产生的全部的气体量。

　　4、正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气，需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有很高的抽速，但是不能进行抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速两组合起来，则会使真空装置得到相应的线、真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时，应该选用各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染的措施。

　　6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内比较合适，而不能让它在25~30mmHg下长期的工作。

　　7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选择无油性真空泵，或者把油蒸气排到室外。

　　8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某线mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限线mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

　　9、最后就是考虑真空泵的初装价格、运转及维修费用了，结合实际情况选择性价比高的真空泵。三亿体育 注册 三亿体育平台三亿体育 注册 三亿体育平台