汇成真空申请一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备专利保证冷却效果均三亿体育匀

发布日期：2024-09-19 17:28浏览次数：866

　　金融界2024年9月18日消息，天眼查知识产权信息显示，广东汇成真空科技股份有限公司申请一项名为“一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备“，公开号CN7.4，申请日期为2024年8月。

　　专利摘要显示，本发明涉及磁控溅射镀铜技术领域，本发明公开了一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，包括支架、镀膜辊机构和第二轴承，所述支架的内顶部固定有第一固定架和第二固定架，所述第一连接轴贯穿第一固定架和第二固定架，所述第二圆齿轮啮合连接在第一圆齿轮的顶部。该复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，向环形进液通道通入冷却液后，冷却液顺着方形输液管道流到冷却管道内，冷却液在冷却管道与镀膜辊筒的内壁之间流动，镀膜辊筒的散热效果好，且冷却管道呈螺旋状等间距分布在冷却筒上，每个冷却管道内的冷却液温度相差不大，保证冷却效果均匀，避免出现越流到后面的冷却液温度越高而导致散热不均的问题。

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