三亿体育京东方华灿光电（苏州）申请真空系统及化学气相沉积设备专利能够提高化学气相沉积设备的工作效率

发布日期：2024-10-29 04:00浏览次数：784

　　金融界2024年10月26日消息，国家知识产权局信息显示，京东方华灿光电（苏州）有限公司申请一项名为“真空系统及化学气相沉积设备”的专利，公开号CN 118814132 A，申请日期为2024年6月。

　　专利摘要显示，本公开提供了一种真空系统及化学气相沉积设备，属于半导体制备设备领域。该真空系统，应用于化学气相沉积设备，真空系统包括缓冲罐、多个真空泵、多个腔体连接管路和多个蝶阀；多个真空泵分别与缓冲罐相连；多个腔体连接管路的第一端分别与缓冲罐相连，多个腔体连接管路的第二端用于连接化学气相沉积设备的反应腔，每个腔体连接管路上安装有蝶阀。本公开能够提高化学气相沉积设备的工作效率。

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