金融界2024年12月3日消息,国家知识产权局信息显示,泽鸿半导体设备科技(苏州)有限公司取得一项名为“一种包含预装载腔室的蒸发真空镀膜设备的腔体”的专利,授权公告号CN 222082879 U,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种包含预装载腔室的蒸发真空镀膜设备的腔体,属于真空镀膜技术领域,包括工艺加工组件,所述工艺加工组件连接真空阀门组件,所述真空阀门组件连接有预装载组件,预装载组件连接有进样机械手;所述预装载组件包括预装腔室主体、接口组件和装载夹持组件,所述预装腔室主体上设置有接口组件,所述接口组件和进样机械手、工艺加工组件、装载夹持组件均连接。通过上述方式,本实用新型通过工艺腔室与预装载腔室结合,并利用送样机械手在腔室之间进行传递,从而提高样品镀膜的效率,并确保工艺腔体的真空度始终维持在合理的范围内,降低工艺腔体内的颗粒密度,提高了蒸发真空镀膜的重复性。三亿体育 全站 三亿体育app三亿体育 全站 三亿体育app
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