金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，光驰科技（上海）有限公司申请一项名为“真空处理设备及真空处理设备的控制方法”的专利，公开号 CN 119121164 A，申请日期为 2023年6月。

　　专利摘要显示，本发明属于真空处理设备领域，尤其涉及一种真空处理设备及真空处理设备的控制方法。该真空处理设备中包括支架、旋转组件、转轴组件、测距组件和监控组件，支架设于真空处理腔室，转轴组件可转动连接于支架；旋转组件包括支撑件和连接于支撑件两端的第旋转盘和第二旋转盘第旋转盘第二旋转盘和支撑件之间形成容纳空间，工件组件能够容纳于容纳空间且承载于第二旋转盘，第一旋转盘设有镂空区域，工件组件正对镂空区域的区域为检测区域；第一旋转盘连接于转轴组件；测距组件用于检测检测区域沿轴线方向的距离；转轴组件、测距组件均与监控组件通讯连接。该真空处理设备能够实现工件组件在旋转组件中摆放是否水平的检测，节约成本。

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